半導體材料可以分為晶圓材料和封裝材料，封裝材料相較于晶圓制造材料來說技術壁壘相對較低，所以我們主要講的是晶圓制造材料中難度系數(shù)最高的濺射靶材。...
什么是“磁控濺射靶材”，磁控濺射靶材的分類有哪些，磁控濺射靶材主要應用在哪些行業(yè)領域呢？下面啟睿新材料為您分別解答講述。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動量轉換原理以較高的動能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬，合金，...
一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？ 1.濺射溫度高，無氧銅易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時會開裂，造成背靶脫落； 2.電流太大，導熱太快造成溫度過高，焊料...
目前靶材的制備主要有鑄造法和粉末冶金法。 鑄造法： 將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，最后經(jīng)機械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄...
一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？ 綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導電膠。 1.壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性...
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