半導(dǎo)體材料可以分為晶圓材料和封裝材料，封裝材料相較于晶圓制造材料來說技術(shù)壁壘相對(duì)較低，所以我們主要講的是晶圓制造材料中難度系數(shù)最高的濺射靶材。...
什么是“磁控濺射靶材”，磁控濺射靶材的分類有哪些，磁控濺射靶材主要應(yīng)用在哪些行業(yè)領(lǐng)域呢？下面啟睿新材料為您分別解答講述。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式,就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。 濺射靶材有金屬，合金，...
一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？ 1.濺射溫度高，無氧銅易被氧化和發(fā)生翹曲，靶材在高溫濺射時(shí)會(huì)開裂，造成背靶脫落； 2.電流太大，導(dǎo)熱太快造成溫度過高，焊料...
目前靶材的制備主要有鑄造法和粉末冶金法。 鑄造法： 將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，最后經(jīng)機(jī)械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄...
一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？ 綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。 1.壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性...
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